二氯硅烷:一种含硅的卤代氢硅烷化合物,化学式 SiH₂Cl₂。常用作半导体与材料工业中的前驱体气体(如化学气相沉积 CVD),用于制备硅薄膜、硅基涂层等。其具有反应性,遇水易水解并可能放出腐蚀性气体。
/ˌdaɪˌklɔːroʊˈsaɪleɪn/
Dichlorosilane is used to make thin silicon films.
二氯硅烷可用于制备薄的硅薄膜。
In semiconductor manufacturing, dichlorosilane can act as a precursor in chemical vapor deposition, but it must be handled carefully because it reacts with moisture.
在半导体制造中,二氯硅烷可作为化学气相沉积的前驱体,但由于它会与水分反应,因此必须谨慎处理。
dichloro- 表示“含两个氯原子(di- ‘两个’ + chloro- ‘氯’)”,silane 指“硅烷类化合物”(与 silicon“硅”相关)。合起来字面意思就是“含两个氯取代的硅烷”。